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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64498
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36 RF 파워서플라이 매칭 문제 456
35 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 631
34 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 883
33 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 790
32 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1191
31 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 991
30 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 1282
29 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 738
28 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2044
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26 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 2213
25 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 3979
24 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 659
23 임피던스 매칭회로 [1] file 2264
22 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 4539
21 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 5766
20 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1703
19 MATCHER 발열 문제 [3] 1223
18 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1241

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