Matcher RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다.

2022.04.19 11:40

안녕하세요

측정장비 분야에서 일하고 있는 연구 엔지니어입니다.

ICP(13.56MHz) 이용해 플라즈마 띄우고 Standard L-type Matching Network 사용중입니다.

Matcher에 대해 어느정도 이론은 이해했다고 생각했는데 현실은 다르네요.

안테나와 Matcher 間 거리, 안테나의 길이, Clamp로 엮는 위치 등등 모든게 변수가 되는 것 같습니다...

이러한 이유로 Plasma를 띄운 후 Current 값이 계속해서 안정적이지 못하고 뛰는 것 같은데 혹시 이러한 값들도 영향을 미치나요?

혹시 최선의 값을 알고 계신다면 알려주시면 진심으로 감사하겠습니다.

바쁘신 연구 와중에도 항상 저희에게 도움을 주셔서 감사합니다.

ICP, Matcher, 이 게시물을

번호	제목	조회 수
공지	[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [179]	74880
공지	Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법	18735
공지	개인정보 노출 주의 부탁드립니다.	56223
공지	kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수	66683
공지	질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3]	87989
37	Plasma Arching [1]	653
36	RF 파워서플라이 매칭 문제	575
»	RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1]	788
34	Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1]	1063
33	임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1]	933
32	RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.	1269
31	매칭시 Shunt와 Series 값 [1]	1206
30	안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1]	1547
29	RF 반사파와 이물과의 관계 [1]	852
28	Load position 관련 질문 드립니다. [1]	2181
27	Interlock 화면.mag overtemp의 의미	498
26	Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3]	2927
25	matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1]	8390
24	매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1]	716
23	임피던스 매칭회로 [1]	2433
22	매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1]	4695
21	Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2]	5912
20	임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4]	1888
19	MATCHER 발열 문제 [3]	1292
18	Impedence 위상관련 문의.. [1]	1305

첫 페이지 1 2 끝 페이지

쓰기

댓글 1