Matcher Plasma Arching
2022.09.13 19:17
안녕하십니까!
경기도 모 소재대학에 신소재공학과 재학중인 학생인데
신소재공학과는 전자기학을 배우지 않아서 어려움을 겪고있습니다.
1. 아킹 현상에 대해 공부중인데 임피던스 매칭? 이런 개념들이 너무 어렵고 플라즈마에 대해 이해도를 높이기 위해 전자기학 책 (원서도 좋습니다) 추천해주실만한 서적있으신가요?
답변주시면 감사하겠습니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [220] | 75427 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19163 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56479 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 67556 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 89368 |
40 | RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [1] | 92 |
39 |
CURRENT PATH로 인한 아킹
[1] ![]() | 149 |
38 | 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] | 162 |
» | Plasma Arching [1] | 852 |
36 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 691 |
35 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 893 |
34 | Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] | 1254 |
33 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 1054 |
32 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. | 1345 |
31 | 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] | 1449 |
30 | 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] | 1777 |
29 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 966 |
28 | Load position 관련 질문 드립니다. [1] | 2280 |
27 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 522 |
26 | Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] | 3345 |
25 | matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] | 9132 |
24 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 772 |
23 |
임피던스 매칭회로
[1] ![]() | 2578 |
22 | 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] | 4825 |
21 | Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] | 6072 |
재료적 관점에서 플라즈마를 전기적 물성을 가진 재료로 생각해 보세요. 이 개념은 플라즈마의 dielectric property를 이해하는 것으로 시작하는데, 특히 lossy 한 재료가 가지는 RF 반응을 이해하면 좋습니다. 따라서 plasma dielectric property 에서 rf 주파수의 역할, plasma frequency, 및 기본적인 collision frequency 가 dielectric property를 어떻게 바꾸는가에 대해서 생각을 정리해 보세요. 이를 이해하기에 좋은 교재는 물리2 이고 Maxwell 방정식으로 부터 plasma dielectric frequency를 유도할 수 있으면, 플라즈마 공부하시는데 크게 지장은 없습니다. 참, 입자의 거동이니 하전입자의 운동 방정식과 연속 방정식은 늘 함께 다니는 식입니다. 이는 물리 1에서도 다루고 있습니다.
전자기학 책에 너무 연연하지 마시고 일반 물리에서 배운 지식을 잘 활용해 보시면 좀 더 수월하게 접근하실 수 있는 분야가 플라즈마 분야라 생각합니다.