안녕하세요 교수님, 교수님의 답변으로 이해도가 점점 깊어지고 있어 진심으로 감사 말씀드립니다.
오늘은 아래 세가지 질문 있습니다, 바쁘신 와중에 다시 한번 감사 말씀드립니다.

 

1. 설비에서 RF POWER를 SET 할 수 있는데, 상수로 SET이 가능합니다. 이 때 이 상수 값은 유효전력, 순시전력 중 어떤 값인가요?

 

2. 위의 SET 값은 다음과 같은 두 값의 합 이기도 한데요( SET POWER = FORWARD POWER + REFFLECT POWER) 

제일 궁금한 것은, 만일 SET 값이 유효전력이라면(3상 전력의 진폭 값)면 이해가 안가는 부분이 있는데요,

예를들어 SET POWER = 100W, FORWRAD POWER = 100W 라고 가정 할 경우, MATCHING 이후엔 GENERATOR 의 저항은 50 옴, CHAMBER의 저항도 50옴을 갖게 될텐데, 어떻게 100W 가 CH에  그대로 전달 되는 것인지 모르겠습니다. GENERATOR의 저항도 소비할테니까요.
100W라는게 3상 전력에서 COS 세타값을 1로 본 것인데, 이상적인 MATCHING 이후에도 세타는 0이므로 COS 1이지만, GEN의 저항과 ,CH 의 저항 각각이 유효전력을 나눠서 소비하는거 아닌가요? 그렇다면 100W보다는 작은 값이어야하는게 맞지 않나 생각되어서요.

-> 결과적으로 SET값이 제너레이터의 저항을 무시하고 인가되는 것을 보이는데 어떤부분을 이해 못하고 잇는것인지 여쭙습니다.

 

 3. 마지막으로 반사파와 무효전력의 관계입니다. CHAMBER에 최대 전력이 전달되지 않는 이유는 'CH의 CAP, INDUCTOR 성분 때문에 발생한 위상차' 때문으로 알고 있습니다. 그리고 반사파가 생기는 이유는 IMPEDANCE MISS MATCH 때문인 것으로 알고 있는데요,
그렇다면 CAP과 INDUCTOR에 소모되는 무효전력과 반사파는 관계가 있다고 보입니다. 

그래서 제 생각은  반사파 = 전달되지 못한 유효전력 = 인가하는 전력(SET값) -  V* I * COS 

                        무효전력 = CAP, INDUCOR에 소비되는 전력 = V*I* SIN

      -> 결과적으로 수식으론 관계가 없으나, 무효전력이 생김으로써 반사파 역시 일어날 수 밖에 없는것이라 이해하면 되는지요?

 

 

진심으로 감사드립니다, 교수님의 답변으로 업무에 많은 도움이 되고 있습니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [329] 99603
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24079
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 60724
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 72671
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 103923
44 RF ROD 연결부 부하로 인한 SHUNT, SERIES 열화 [2] file 178
43 HF와 LF중 LF REFLECT POWER가 커지는 현상에 대해서 도움이 필요합니다. [2] 262
42 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 170
41 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] 1096
40 RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭] [2] 1506
39 CURRENT PATH로 인한 아킹 [RF 접지 면접촉 개선] [1] file 640
» 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [플라즈마 생성과 가열] [2] 604
37 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1381
36 RF 파워서플라이 매칭 문제 999
35 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp] [1] 1333
34 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [Matcher와 Plasma Impedence] [1] 2017
33 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [플라즈마 전류량] [1] 1583
32 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1648
31 매칭시 Shunt와 Series 값 [RF 전원 전력 전달 및 Load/Tune 계산] [1] 2615
30 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [회로인자 및 구동기구, 플라즈마 특성] [1] 2991
29 RF 반사파와 이물과의 관계 [Physical/chemical cleaning] [1] 1420
28 Load position관련 질문 드립니다. [Impedance matching] [1] 2853
27 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 705
26 Depostion 진행 중 matcher(shunt, series) 관계 질문 [Matcher와 VI sensor] [3] 4687
25 matcher에서 load, tune의 역할이 궁금합니다. [Matcher와 impedance] [1] 12242

Boards


XE Login