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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[336]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다
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RF ROD 연결부 부하로 인한 SHUNT, SERIES 열화
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HF와 LF중 LF REFLECT POWER가 커지는 현상에 대해서 도움이 필요합니다.
[2] | 667 |
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반사파와 유,무효전력 관련 질문 [플라즈마 생성과 가열]
[2] | 725 |
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Interlock 화면.mag overtemp의 의미
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CURRENT PATH로 인한 아킹 [RF 접지 면접촉 개선]
[1] | 774 |
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RF 파워서플라이 매칭 문제
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매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model]
[1] | 1135 |
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PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher]
[2] | 1270 |
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35 |
RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp]
[1] | 1425 |
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Plasma Arching [Plasma property]
[1] | 1479 |
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RF 반사파와 이물과의 관계 [Physical/chemical cleaning]
[1] | 1508 |
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임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [플라즈마 전류량]
[1] | 1681 |
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31 |
RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
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Impedence 위상관련 문의 [Circuit model, matching]
[1] | 1772 |
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MATCHER 발열 문제 [Mathcer와 plasma impedance]
[3] | 1800 |
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RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭]
[2] | 1821 |
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Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [Matcher와 Plasma Impedence]
[1] | 2155 |
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13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [Resonator의 matching]
[1] | 2192 |
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3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [Wave guide 및 matcher position 변화]
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