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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[338]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다
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Interlock 화면.mag overtemp의 의미
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RF 파워서플라이 매칭 문제
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RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
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매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model]
[1] | 2765 |
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반사파와 유,무효전력 관련 질문 [플라즈마 생성과 가열]
[2] | 2963 |
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MATCHER 발열 문제 [Mathcer와 plasma impedance]
[3] | 3142 |
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Impedence 위상관련 문의 [Circuit model, matching]
[1] | 3150 |
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RF 반사파와 이물과의 관계 [Physical/chemical cleaning]
[1] | 3412 |
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13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [Resonator의 matching]
[1] | 3534 |
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CURRENT PATH로 인한 아킹 [RF 접지 면접촉 개선]
[1]  | 3568 |
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RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp]
[1] | 3724 |
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3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [Wave guide 및 matcher position 변화]
[1] | 3739 |
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Plasma Arching [Plasma property]
[1] | 3742 |
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PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher]
[2] | 3786 |
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임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [플라즈마 전류량]
[1] | 3839 |
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28 |
RF ROD 연결부 부하로 인한 SHUNT, SERIES 열화
[2] | 3986 |
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임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [플라즈마 dielectric property]
[4] | 4104 |
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플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [최적 정합 조건 및 정합 시간]
[2] | 4169 |
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Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [Matcher와 Plasma Impedence]
[1] | 4395 |
