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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62368
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33 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [2] 464
32 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 480
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27 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 850
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21 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 1698
20 Load position 관련 질문 드립니다. [2] 1728
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18 임피던스 매칭회로 [1] file 1987
17 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 2721
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