Matcher 13.56MHz resonator 해석 관련 문의

2014.07.10 20:00

ㅇㅇ 조회 수:1797

안녕하세요

다름이 아니오라 제가 플라즈마 장비에 장착된 13.56MHz resonator 해석중인데요.ㅎ

혹시 HFSS를 이용하여 해석해 보신 경험이 있으신지요?

만약에 있으시거나 도움을 받을 만한 것들이 있다면 알려주시면 감사하겠습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] 73042
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17635
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55518
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65710
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86057
37 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 472
36 RF 파워서플라이 매칭 문제 518
35 Plasma Arching [1] 539
34 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 680
33 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 688
32 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 799
31 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 865
30 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 960
29 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1094
28 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1228
27 MATCHER 발열 문제 [3] 1250
26 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1268
25 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 1428
24 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1697
23 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1795
» 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1797
21 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2096
20 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2130
19 임피던스 매칭회로 [1] file 2319
18 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 2331

Boards


XE Login