Matcher MATCHER 발열 문제
2018.04.11 18:14
안녕하세요
Ar + O2 wafer 크리닝 설비에
AE사 의 1000W 짜리 RF파워랑 매쳐를 사용하고 있는데요
공정조건이 진공도 250mTorr에 800W에 800초인데 공정진행중
MATCHER 내부에 TUNE 코일을 고정하는 세라믹부에 발열이 너무 심해서 타버렸습니다.
왜 이런 현상이 일어나는지 조언좀 얻을수 있을까요
챔버의 임피던스 문제인지 매쳐가 고장인지....ㅠ
댓글 3
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [182] | 75027 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 18870 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56343 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 66868 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 88354 |
37 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 501 |
36 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 586 |
35 | Plasma Arching [1] | 672 |
34 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 720 |
33 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 796 |
32 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 865 |
31 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 947 |
30 | Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] | 1078 |
29 | 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] | 1243 |
28 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. | 1276 |
» | MATCHER 발열 문제 [3] | 1295 |
26 | Impedence 위상관련 문의.. [1] | 1312 |
25 | 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] | 1572 |
24 | 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] | 1748 |
23 | 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] | 1844 |
22 | 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] | 1907 |
21 | Load position 관련 질문 드립니다. [1] | 2192 |
20 | 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] | 2198 |
19 |
임피던스 매칭회로
[1] ![]() | 2447 |
18 | Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] | 2986 |