Matcher 매칭시 Shunt와 Series 값

2021.05.17 15:38

안녕하세요. 반도체 장비 기업에 다니고 있는 엔지니어 입니다.

다름이 아니라 CCP 방식을 쓰는 장비를 운용하기 위해서 매칭을 하는데,

매칭을 잘? 혹은 효율적으로 빠르게 하기 위해서 처음에 Shunt, Series 값을 지정해 주고 있습니다.

그렇게 하래서 하고는 있는데 이 값들이 매칭에 어떤 영향을 끼치게 되는 것인지 궁금합니다.

번호	제목	조회 수
공지	[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [158]	72997
공지	Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법	17588
공지	개인정보 노출 주의 부탁드립니다.	55512
공지	kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수	65687
공지	질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3]	86016
37	Interlock 화면.mag overtemp의 의미	472
36	RF 파워서플라이 매칭 문제	518
35	Plasma Arching [1]	533
34	매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1]	678
33	RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1]	683
32	RF 반사파와 이물과의 관계 [1]	792
31	임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1]	863
30	Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1]	959
»	매칭시 Shunt와 Series 값 [1]	1074
28	RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.	1226
27	MATCHER 발열 문제 [3]	1248
26	Impedence 위상관련 문의.. [1]	1264
25	안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1]	1415
24	3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1]	1696
23	임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4]	1783
22	13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1]	1796
21	Load position 관련 질문 드립니다. [1]	2093
20	플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2]	2127
19	임피던스 매칭회로 [1]	2311
18	Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3]	2319

첫 페이지 1 2 끝 페이지

쓰기

댓글 1