Matcher Plasma Arching

2022.09.13 19:17

안녕하십니까!

경기도 모 소재대학에 신소재공학과 재학중인 학생인데

신소재공학과는 전자기학을 배우지 않아서 어려움을 겪고있습니다.

1. 아킹 현상에 대해 공부중인데 임피던스 매칭? 이런 개념들이 너무 어렵고 플라즈마에 대해 이해도를 높이기 위해 전자기학 책 (원서도 좋습니다) 추천해주실만한 서적있으신가요?

답변주시면 감사하겠습니다.

번호	제목	조회 수
공지	[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [179]	74892
공지	Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법	18748
공지	개인정보 노출 주의 부탁드립니다.	56228
공지	kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수	66706
공지	질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3]	88074
37	Interlock 화면.mag overtemp의 의미	499
36	RF 파워서플라이 매칭 문제	579
»	Plasma Arching [1]	661
34	매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1]	718
33	RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1]	788
32	RF 반사파와 이물과의 관계 [1]	857
31	임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1]	938
30	Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1]	1068
29	매칭시 Shunt와 Series 값 [1]	1221
28	RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.	1275
27	MATCHER 발열 문제 [3]	1292
26	Impedence 위상관련 문의.. [1]	1309
25	안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1]	1557
24	3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1]	1745
23	13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1]	1839
22	임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4]	1897
21	플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2]	2189
20	Load position 관련 질문 드립니다. [1]	2189
19	임피던스 매칭회로 [1]	2435
18	Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3]	2945

첫 페이지 1 2 끝 페이지

쓰기

댓글 1