Matcher CURRENT PATH로 인한 아킹
2023.08.22 11:19
안녕하세요.교수님
이번에 설비사에서 Matcher Plate에 Matcher를 장착할 때 Plate와 Matcher 바닥면 사이 약간의 유격이 있는 상태에서 볼트로 체결하고 RF Power 13.56MHz 2kW 인가 해서 Output 커넥터(20PI 소캣타입)에 아킹이 발생 하였습니다. (크리피지 길이는 충분합니다.)
볼트로 체결하면서 Plate와 Matcher 사이는 완전이 붙었다곤 하지만 제생각엔 완전 면접촉 상태가 아니고 점접촉 상태에서 CURRENT PATH 때문에 아킹이 발생 한 것 같은데 이 원리를 이론적으로 잘 모르겠더라구요..
답변 부탁드립니다
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76881 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20276 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57199 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68754 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92707 |
42 | 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 | 79 |
41 | 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] | 357 |
» | CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] | 403 |
39 | PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] | 584 |
38 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 588 |
37 | RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] | 788 |
36 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 832 |
35 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 848 |
34 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 1015 |
33 | Plasma Arching [1] | 1074 |
32 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 1127 |
31 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 1282 |
30 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1438 |
29 | Impedence 위상관련 문의.. [1] | 1468 |
28 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. | 1469 |
27 | Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] | 1548 |
26 | 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] | 1883 |
25 | 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] | 1921 |
24 | 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] | 1958 |
23 | 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] | 2354 |