Matcher HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생
2011.04.08 12:17
LCD 장비 업체에 근무하는 김기권이라고 합니다.
HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) Source/Drain 공정에서만 발생하고 있습니다 , 발생 시점 은 Plasma On 후 15~20sec 후 (Ti Etching 완료되고, Al 막이 전면적으로 나타난 시점)
증상은 HVDC current '0" , DC Bias 상승 (최대치인 100V 까지), 동시에 Bias Reflect (전반사 - 미세한 Refect가 아니라, 전면적인 반전)
2. 조치 사항
1) HVDC Swap - 변화 없음
2) ESC Filter Swap - "
3) RF Matcher Swap - "
4) ESC 교체 - 일시적 개선되나, 시간을 두고 다시 재발
장비에 문제 인지 ESC 에 문제인지 파악이 안되고 있습니다.
많은 도움 부탁드립니다.
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