LCD 장비 업체에 근무하는 김기권이라고 합니다.
HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) Source/Drain 공정에서만 발생하고 있습니다 , 발생 시점 은 Plasma On 후 15~20sec 후 (Ti Etching 완료되고, Al 막이 전면적으로 나타난 시점)
증상은  HVDC current '0" , DC Bias 상승 (최대치인 100V 까지), 동시에 Bias Reflect (전반사 - 미세한 Refect가 아니라, 전면적인 반전)

2. 조치 사항    
    1) HVDC Swap - 변화 없음
    2) ESC Filter Swap - "    
    3) RF Matcher Swap - "
    4) ESC 교체 - 일시적 개선되나, 시간을 두고 다시 재발

장비에 문제 인지 ESC 에 문제인지 파악이 안되고 있습니다.

많은 도움 부탁드립니다.



번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102630
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24655
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61356
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73440
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105744
44 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 185
43 RF ROD 연결부 부하로 인한 SHUNT, SERIES 열화 [2] file 372
42 HF와 LF중 LF REFLECT POWER가 커지는 현상에 대해서 도움이 필요합니다. [2] 438
41 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [플라즈마 생성과 가열] [2] 647
40 CURRENT PATH로 인한 아킹 [RF 접지 면접촉 개선] [1] file 676
39 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 720
38 RF 파워서플라이 매칭 문제 1015
37 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model] [1] 1100
36 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] 1171
35 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp] [1] 1368
34 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1402
33 RF 반사파와 이물과의 관계 [Physical/chemical cleaning] [1] 1456
32 RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭] [2] 1619
31 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [플라즈마 전류량] [1] 1624
30 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1661
29 Impedence 위상관련 문의 [Circuit model, matching] [1] 1740
28 MATCHER 발열 문제 [Mathcer와 plasma impedance] [3] 1756
27 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [Matcher와 Plasma Impedence] [1] 2078
26 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [Resonator의 matching] [1] 2156
25 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [Wave guide 및 matcher position 변화] [1] 2290

Boards


XE Login