Matcher Impedence 위상관련 문의..

2017.06.30 04:39

메탈 조회 수:1158

안녕하세요. 전에도 몇번 질문드렸었습니다만,, 반도체 관련회사에서 근무하고 있습니다.

RF (ICP)장비를 다루고 있는데 impedence 위상관련해서 문의 좀 드리려고 합니다.


impedence 매칭은 저항과 위상으로 조정하데..

공정 parameter (Ar pressure , AC power 등)의 변화로 위상이 변화할수 있을까요?

변화된다면 어떤 이유로 변화되는지 조금 자세하게 설명을 듣고 싶습니다..


그리고 정말 죄송한데 smith chart program 을 사용하고 싶은데..도움 받을 site가 있을까요?

검색해서 찾아봐도 알수 없는 site로 이동이 되서...찾기가 어렵습니다만..

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [98] 3623
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15307
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50563
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62970
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 81981
36 RF 파워서플라이 매칭 문제 [1] 105
35 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [2] 393
34 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 394
33 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 530
32 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 536
31 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [2] 544
30 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 565
29 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 664
28 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. [1] 853
27 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 903
26 MATCHER 발열 문제 [3] 1109
» Impedence 위상관련 문의.. [1] 1158
24 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1373
23 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1576
22 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1698
21 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 1761
20 Load position 관련 질문 드립니다. [2] 1775
19 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1900
18 임피던스 매칭회로 [1] file 2041
17 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 2956

Boards


XE Login