안녕하세요.교수님

 

이번에 설비사에서 Matcher Plate에 Matcher를 장착할 때 Plate와 Matcher 바닥면 사이 약간의 유격이 있는 상태에서 볼트로 체결하고 RF Power 13.56MHz 2kW 인가 해서 Output 커넥터(20PI 소캣타입)에 아킹이 발생 하였습니다. (크리피지 길이는 충분합니다.)

볼트로 체결하면서 Plate와 Matcher 사이는 완전이 붙었다곤 하지만 제생각엔 완전 면접촉 상태가 아니고 점접촉 상태에서 CURRENT PATH 때문에 아킹이 발생 한 것 같은데 이 원리를 이론적으로 잘 모르겠더라구요..

 

답변 부탁드립니다

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [309] 78473
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21040
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57867
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69400
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93945
42 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 119
41 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [플라즈마 생성과 가열] [2] 430
» CURRENT PATH로 인한 아킹 [RF 접지 면접촉 개선] [1] file 463
39 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 635
38 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] 744
37 RF 파워서플라이 매칭 문제 896
36 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model] [1] 902
35 RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭] [2] 980
34 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp] [1] 1076
33 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1160
32 RF 반사파와 이물과의 관계 [Physical/chemical cleaning] [1] 1216
31 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [플라즈마 전류량] [1] 1370
30 MATCHER 발열 문제 [Mathcer와 plasma impedance] [3] 1502
29 Impedence 위상관련 문의 [Circuit model, matching] [1] 1530
28 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1534
27 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [Matcher와 Plasma Impedence] [1] 1705
26 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [Wave guide 및 matcher position 변화] [1] 1979
25 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [Resonator의 matching] [1] 2009
24 매칭시 Shunt와 Series 값 [RF 전원 전력 전달 및 Load/Tune 계산] [1] 2072
23 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [플라즈마 dielectric property] [4] 2483

Boards


XE Login