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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 58636
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22 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 8783
21 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6255
20 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 5258
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17 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 2217
16 임피던스 매칭회로 [1] file 1769
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14 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1602
13 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 1512

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