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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63739
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37 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] 46375
36 Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) 34556
35 matching box에 관한 질문 [1] 29209
34 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 27020
33 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23080
32 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [3] 22376
31 ICP 플라즈마 매칭 문의 [2] 20838
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29 scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [2] 18973
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27 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9100
26 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6513
25 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 5811
24 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 5626
23 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5296
22 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 4032
21 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 3250
20 임피던스 매칭회로 [1] file 2113
19 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1949
18 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 1868

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