Matcher 임피던스 매칭회로

2019.10.27 17:51

sungsustation 조회 수:1987

안녕하십니까 교수님. 플라즈마를 공부하면서 생긴 궁금증으로 인해 질문드립니다.


아래 첨부된 그림파일과 같은 회로에서 임피던스 매칭 회로의 구동원리는 어떻게 되는지요?

임피던스 매처에서  만약 X<0인 capacitive 인 경우 ,  X>0인 inductive인 경우 각각 임피던스 매칭회로의 변화는 어떻게 되는지 궁금합니다.


항상 감사드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] 2925
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 14129
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50058
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62371
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 80753
35 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] 46021
34 Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) 34396
33 matching box에 관한 질문 [1] 29097
32 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 26927
31 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23027
30 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [3] 22322
29 ICP 플라즈마 매칭 문의 [2] 20775
28 플라즈마 matching 19474
27 scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [2] 18940
26 Virtual Matchng 16669
25 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9031
24 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6448
23 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 5514
22 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 5510
21 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5219
20 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 3601
19 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 2727
» 임피던스 매칭회로 [1] file 1987
17 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1852
16 Load position 관련 질문 드립니다. [2] 1730

Boards


XE Login