Matcher 13.56MHz resonator 해석 관련 문의
2014.07.10 20:00
안녕하세요
다름이 아니오라 제가 플라즈마 장비에 장착된 13.56MHz resonator 해석중인데요.ㅎ
혹시 HFSS를 이용하여 해석해 보신 경험이 있으신지요?
만약에 있으시거나 도움을 받을 만한 것들이 있다면 알려주시면 감사하겠습니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76541 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20077 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68615 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91697 |
22 | Load position 관련 질문 드립니다. [1] | 2417 |
21 | 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] | 2306 |
20 | 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] | 2270 |
» | 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] | 1947 |
18 | 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] | 1904 |
17 | 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] | 1808 |
16 | Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] | 1479 |
15 | Impedence 위상관련 문의.. [1] | 1456 |
14 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. | 1446 |
13 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1425 |
12 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 1250 |
11 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 1099 |
10 | Plasma Arching [1] | 1025 |
9 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 1001 |
8 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 835 |
7 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 799 |
6 | RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] | 651 |
5 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 578 |
4 | PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] | 504 |
3 | CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] | 380 |