Matcher RF 파워서플라이 매칭 문제
2022.07.21 23:00
안녕하세요? 현재 연구실에서 반응성 스퍼터링으로 TiO2 박막을 실험하고 있습니다.
연구실에서 사용하는 RF스퍼터 장비에는 오토매처가 있어 파워 인가 시 자동으로 임피던스 매칭을 수행합니다.
매처는 일반적인 장비로써 Load/Tune capacitor가 내장되어있습니다.
현재 RF 파워의 매칭 시간이 너무 긴 문제가 있습니다.
매칭이야 조건을 찾는 과정이니 시간이 걸릴 수 있겠지만, 매칭 시간만 1시간이 넘게 걸리고, 무엇보다 공정 조건이 같은데도 매칭이 이루어지는데 점점 오래 걸리고 있습니다.
반응 가스는 고순도 O2를 사용 중에 있으며, 순도는 용접용이어서 낮지 않습니다.
만일 매칭에 방해가 되는 요인이 있다면 어떤 요인이 있는 지 알고 싶습니다.
감사합니다.
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안녕하세요 RF power, match 업체에 다니고 있는 회원입니다.
Stepping motor가 install 되어 있는 Auto match에 경우 preset 만 잘 조절한다면 RF on 이후에 3초 이내로 matching이 됩니다.
DC motor가 install 되어 있는 analog match에 경우 preset 만 잘 조절하면 RF on 이후 5초 이내로 matching 됩니다.
사용하고 있으신 스퍼터를 PM을 언제 하셨는지도 확인이 필요하며, 타켓의 파손여부, 마그네틱 건의 파손 아크 여부, chamber leakage 가스 압력 등등을 먼저 확인 해보시고 방전 테스트를 하시는 것이 좋을 것으로 판단 됩니다.
RF match와 RF generator 같은 경우 동축케이블을 점검 하시고 접점이 불량하다면 재구매 및 rework하셔서 RF on을 하시는 것을 추천드립니다. 재구매 시에는 같은 타입의 동축케이블과 길이를 이전 것과 맞추셔야 합니다.
1시간동안 miss matching이 계속 된다면, 반사파로 인하여 발전기에 큰 과부하가 걸립니다. 사용에 따라서는 power amp단의 고장으로 갈 수 있습니다.