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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68682
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21 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22940
20 Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] 22236
19 [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] 19833
18 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 16933
17 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 14774
16 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 8634
15 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7609
14 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6468
13 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 5511
12 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 4317
11 ESC Cooling gas 관련 [1] 3524
10 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 3493
9 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2813
8 Si Wafer Broken [2] 2504
7 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1999
6 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1867
5 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1596
4 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1409

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