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20 Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] 22236
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18 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 16916
17 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 14762
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14 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6467
13 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 5507
12 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 4313
11 ESC Cooling gas 관련 [1] 3520
10 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 3466
9 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2812
8 Si Wafer Broken [2] 2499
7 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1988
6 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1867
5 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1595
4 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1403

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