번호 제목 조회 수
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 50558
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 56142
128 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 11
127 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 89
126 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 107
125 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 156
124 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 170
123 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 120
122 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 265
121 표면상태에 따른 코팅 전후 비교(PVD) [2] file 631
120 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 256
119 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 189
118 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 300
117 질문있습니다 교수님 [1] 9098
116 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 330
115 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] 602
114 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 592
113 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 679
112 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 212
111 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 392
110 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 589
109 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 476

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