번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48578
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 49789
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 55049
125 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 29
124 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 47
123 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 43
122 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 145
121 표면상태에 따른 코팅 전후 비교(PVD) [2] file 428
120 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 163
119 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 130
118 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 232
117 질문있습니다 교수님 [1] 6860
116 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 229
115 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] 449
114 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 468
113 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 534
112 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 193
111 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 323
110 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 500
109 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 439
108 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 270
107 PEALD관련 질문 [1] 422
106 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 498

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