Q & A

번호	제목	조회 수
공지	개인정보 노출 주의 부탁드립니다.	48518
공지	kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수	49110
공지	질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1]	54811
118	Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1]	72
117	질문있습니다 교수님 [1]	391
116	CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1]	124
115	안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1]	312
114	ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2]	325
113	Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1]	438
112	전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1]	178
111	압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1]	275
110	PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1]	435
109	ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1]	394
108	HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요?	214
107	PEALD관련 질문 [1]	338
106	Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3]	475
105	기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2]	236
104	식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1]	765
103	PECVD 증착에서 etching 관계 [1]	470
102	터보펌프 에러관련 [1]	999
101	부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1]	292
100	산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1]	215
99	[CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4]	577

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