Q & A

번호	제목	조회 수
공지	개인정보 노출 주의 부탁드립니다.	48362
공지	kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수	48250
공지	질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1]	53813
113	Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1]	88
112	전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1]	69
111	압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1]	86
110	PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1]	203
109	ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1]	264
108	HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요?	105
107	PEALD관련 질문 [1]	267
106	Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3]	313
105	기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2]	193
104	식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1]	534
103	PECVD 증착에서 etching 관계 [1]	391
102	터보펌프 에러관련 [1]	271
101	부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1]	231
100	산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1]	178
99	[CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4]	473
98	magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3]	165
97	Pecvd 장비 공정 질문 [1]	342
96	DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1]	388
95	챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1]	529
94	RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1]	321

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