공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다.
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O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
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안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다
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접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다
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Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계.
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[RIE] reactive, non-reactive ion의 역할
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O2 Asher o-ring 문의드립니다.
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Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate
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표면상태에 따른 코팅 전후 비교(PVD)
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Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다.
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Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다.
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Plasma etch관련 질문이 드립니다.
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질문있습니다 교수님
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CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문
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안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다.
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ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다.
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Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다.
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전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련
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압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다.
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PECVD Precursor 별 Arcing 원인
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