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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] 76883
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20277
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68755
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92712
24 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 425
23 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 415
22 PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] 409
21 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 405
20 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 399
19 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 371
18 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 363
17 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 324
16 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 300
15 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 284
14 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 269
13 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 261
12 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 255
11 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 236
10 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 221
9 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 210
8 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 207
7 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 189
6 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 186
5 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 142

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