번호 제목 조회 수
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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16915
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51352
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64226
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84314
152 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 63
151 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 1728
150 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 134
149 RF Sputtering Target Issue [1] file 125
148 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 822
147 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 155
146 Polymer Temp Etch [1] 152
145 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 152
144 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 405
143 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 496
142 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 539
141 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 467
140 doping type에 따른 ER 차이 [1] 327
139 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 3302
138 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 517
137 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 647
136 Plasma 식각 test 관련 문의 [1] 3513
135 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 672
134 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 556
133 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 475

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