Etch O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의

2020.10.28 15:20

nons 조회 수:1211

안녕하십니까

반도체 소재 회사에 다니고 있는 노은수 입니다.

궁금한게 있어서 문의 드립니다.

 

O2 etch 후 gas의 접촉면과 닿은 polymer에서 아래의 그림과 같이 손톱모양으로 변성(?)이 되는 현상이 있는데 왜 이러한 현상이 발생 하는지 알고 싶습니다. 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [301] 78015
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20833
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57735
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69249
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93625
151 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2374
150 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 1083
149 RF Sputtering Target Issue [2] file 675
148 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 2046
147 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 623
146 Polymer Temp Etch [1] 756
145 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 543
144 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 632
143 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 1186
142 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 1139
141 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 957
140 doping type에 따른 ER 차이 [1] 2112
139 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 4219
138 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 2269
137 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 1217
136 Plasma 식각 test 관련 문의 [1] 4015
135 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 1243
134 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 1515
133 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 775
132 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 3022

Boards


XE Login