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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Sticking coefficient 관련 질문입니다.
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133 |
O2 Asher o-ring 문의드립니다.
[1] | 821 |
132 |
etch defect 관련 질문드립니다
[1] | 896 |
131 |
Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다.
[1] | 897 |
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RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소
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Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계.
[2] | 977 |
128 |
식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문
[1] | 983 |
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엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다.
[1] | 994 |
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Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다..
[3] | 1007 |
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Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다.
[1] | 1013 |
124 |
Uniformity 관련하여 문의드립니다.
[1] | 1048 |
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O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
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텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다.
[1] | 1097 |
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안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다.
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ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다.
[1] | 1098 |
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챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화
[1] | 1111 |
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Plasma etch관련 질문이 드립니다.
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[CVD] 막 증착 관련 질문입니다.
[4] | 1225 |
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Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다.
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부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다.
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