번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 102220
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24573
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61232
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73316
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105541
154 기판표면 번개모양 불량발생 [Plasma charging] [1] 931
153 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time [TVP(Thorottle Valve Position)] [1] file 935
152 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 959
151 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 1000
150 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [단위 Chamber의 PM 이력] [1] 1001
149 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 1007
148 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [플라즈마 식각기술] [1] 1045
147 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다. [플라즈마 확산 시간 및 표면 반응 시간 유지] [2] 1054
146 remote plasma를 이용한 SiO2 ethching 질문드립니다. [식각률 self limit과 쉬스 에너지 변화] [1] 1060
145 RF Sputtering Target Issue [Sputtering] [2] file 1067
144 Polymer Temp Etch [이온 입사 에너지] [1] 1071
143 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해보고 싶습니다. [플라즈마 가속 전자의 충돌 반응] [1] 1140
142 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [RF 접지 및 체결, 결합부분 교체] [1] 1149
141 PECVD Uniformity [플라즈마 균일도 제어] [1] 1198
140 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [Plasma heat와 dissociation] [1] 1217
139 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [세정 공정 개발] [1] 1245
138 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1297
137 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [CCP 방전 원리] [1] file 1326
136 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1335
135 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 식각기술, Plasma Etching] [3] 1353
쓰기
태그

Boards

XE Login