번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [324] 90992
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 23333
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 60027
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 71840
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 100944
134 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1313
133 sticking coefficient 관련 질문입니다. [HAR, LF bias] [1] 1323
132 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [Self bias] [1] 1353
131 Vacuum chamber(Etching)내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계 [Plasma bulk Temp와 wall Temp] [2] 1375
130 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [Chucking/dechucking 파티클 제어] [1] 1379
129 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [Chamber impedance와 공정 드리프트 진단 인자] [1] 1424
128 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [플라즈마 방전 및 이온 가속] [1] 1430
127 etch defect 관련 질문드립니다 [Plasma distribution] [1] 1451
126 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [베르누이 정리] [1] 1467
125 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [나노광전자 데이터 분석] [1] 1486
124 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [O2 plasma, ion sputtering] [1] 1498
123 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [수소의 확산과 쉬스에 의한 가속] [4] 1535
122 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1552
121 SI 표면에 Ar Plasma Etching 하면 안되는 이유 [표면 전처리] [1] 1614
120 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [Matcher와 dynamic impedance] [1] 1683
119 Ar plasma power/time [Self bias와 sputtering 효과] [1] 1691
118 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [Matcher의 알고리즘] [1] 1693
117 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [라디컬의 화학반응성 및 DC 타깃 전극] [1] 1697
116 Plasma etch 관련 질문이 드립니다. [Sheath와 uniformity] [1] 1759
115 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [표면 화학 반응] [1] 1862

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