Etch 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [공정 용법]

2016.07.11 17:15

야돌이 조회 수:18706

안녕하세요.

지난 서울대에서 기술교류회에 참석했던 성균관대학교 학생 중 한명인 가두현 이라고 합니다.

이제 막 반도체 공정에 대해 공부를 하고 있는 대학원생인데요.

etching시 Trench와 via를 어떻게 구분을 하는건지 궁금해서 글을 남깁니다.

trench와 via를 BEOL과 FEOL에서 따로 구분을 하는건지 헷갈리네요.

이상입니다. 수고하세요~

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