안녕하십니까.

산소양이온이 금속전극을 충돌하면, 산소양이온은 무엇으로 변하는지 궁금합니다.


1) 금속표면바로아래의 전자가 터널링에 의하여 나와서 산소양이온과 결합 하여 산소분자로 환원이 되는지?

  - 산소분자로 환원이 된다면, metastable 상태를 거쳐서 산소분자가 되는지..

2) 전자과 결합하는 과정에서 산소원자들이 생성이 되는지?


자료를 찾을 수가 없어서 문의드립니다.


오늘도 좋은 하루 되세요. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [299] 77531
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20607
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57543
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69046
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93208
109 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 1223
108 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2928
107 PEALD관련 질문 [1] 32671
106 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 1119
105 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 751
104 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 2073
103 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1577
102 터보펌프 에러관련 [1] 1798
101 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 1459
» 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2602
99 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1342
98 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 482
97 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1724
96 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 2425
95 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1216
94 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 867
93 etching에 관한 질문입니다. [1] 2337
92 DRAM과 NAND에칭 공정의 차이 [1] 5557
91 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1464
90 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 2414

Boards


XE Login