Process Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다..
2019.05.26 15:39
안녕하세요 저는 현재 플라즈마 에쳐장비 쪽에서 근무중인 사람입니다.
하지만, 대학과정동안 화학에 대해선 공부해 본적이 없는지라 가스에 대한 지식이 거의 전무하다고 봐도 되는 상태입니다..
그래서 특정 식각물질에 대해 어떠한 가스가 어떤 역할을 하는지,
그에 대한 화학반응식이 무엇인지 공부 하고 싶은데
혹시 관련 교재를 추천해주실 수 있으신가요.. 부탁드립니다.
만약 적당한 교재가 없다면, 어떤 방법으로 공부하면 좋을지 조언 좀 부탁드립니다. 감사합니다.
댓글 3
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] | 76748 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20217 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57169 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68707 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92306 |
62 | 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] | 8036 |
61 | 고온 플라즈마 관련 | 8090 |
60 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8600 |
59 | 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 | 9261 |
58 | 에칭후 particle에서 발생하는 현상 | 9510 |
57 | 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] | 10302 |
56 | N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] | 11423 |
55 | ICP와 CCP의 차이 [3] | 12491 |
54 | 플라즈마 절단기에서 발생 플라즈마 | 14734 |
53 | 산업용 플라즈마 내에서 particle의 형성 | 15053 |
52 | 박막 형성 | 15299 |
51 | PMMA(폴리메틸메타크릴레이트)의 표면개질에 관해 [1] | 15645 |
50 | Ar fraction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [1] | 15803 |
49 | Sputter | 15883 |
48 | 몇가지 질문있습니다 | 16578 |
47 | nodule의 형성원인 | 16761 |
46 | sputter | 16845 |
45 | ICP 식각에 대하여... | 16917 |
44 | 플라즈마 처리 | 16932 |
43 | [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. | 17191 |
성균관 대학교 염근영교수님께서 쓰신 "플라즈마 식각기술" (미래컴 출판) 을 추천합니다.