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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 81618
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 120653
194 플라즈마 식각 커스핑 식각량 496
193 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 662
192 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 780
191 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [플라즈마 확산] [1] 782
190 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [환경 플라즈마] [1] file 797
189 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 830
188 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [박막] [1] 853
187 AP plasma 공정 관련 문의 [OES 활용 장비 플라즈마 데이터 분석] [1] 870
186 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 885
185 Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [Sheath 크기 및 전위 분포] [1] 911
184 Cu migration 방지를 위한 스터디 [전자재료] [1] 943
183 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [핵융합 연구소] [1] 945
182 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [Base pressure 이해] [1] 951
181 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [Plasma Cleaning] [1] 954
180 가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [Arrhenius equation 이해] [1] 961
179 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [박막 문제] [1] 962
178 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [Pd condition과 PDP] [1] 967
177 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 983
176 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [RF matcher noise] [1] 990
175 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메커니즘에 대해 질문하고 싶습니다. [플라즈마-화학-표면 반응 모델] [1] 1003

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