번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 76929
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20307
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57226
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68777
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92754
184 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] 24
183 플라즈마 식각 커스핑 식각량 36
182 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 73
181 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 74
180 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 147
179 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 189
178 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 192
177 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 209
176 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 212
175 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 229
174 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 238
173 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 255
172 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 264
171 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 271
170 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 288
169 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 302
168 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 329
167 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 366
166 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 373
165 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 405

Boards


XE Login