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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63767
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147 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 file 38
146 Polymer Temp Etch [1] 62
145 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 106
144 doping type에 따른 ER 차이 [1] 276
143 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 277
142 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 342
141 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 353
140 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 353
139 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 360
138 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 411
137 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 414
136 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 415
135 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 420
134 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 429
133 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 432
132 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 436
131 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 445
130 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 445
129 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 457
128 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 484

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