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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61902
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144 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 149
143 doping type에 따른 ER 차이 [1] 198
142 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 204
141 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 215
140 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 234
139 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 273
138 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 280
137 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 288
136 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 305
135 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 318
134 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 321
133 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 325
132 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 366
131 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 368
130 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 379
129 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 383
128 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 406
127 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 445
126 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 463
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