Ashing Uniformity 관련하여 문의드립니다.

2021.11.19 14:18

김강희 조회 수:1169

안녕하세요.

 

Plasma 관련 공부를 처음 시작하게된 엔지니어입니다.

 

교수님의 설명을 통해 이곳에서 많은 공부를 하고 있는 도중 의문점이 있어 질문 드립니다.

 

Source Gas의 Uniformity를 관련하여 공부하고 있는데요

 

Plasma도 처음 시작하게 되었는데 기체의 유동도 많은 관련이 있어 공부를 시작하려 합니다.

 

진공 상태에서 Gas가 분출되어 나오고, showerhead를 통해 Process 공간으로 분사될 때 Gas의 Density를 대략적으로 계산할 수 있는 식이 있을까요??

 

예를들면 직경 10Φ의 원형에서 Gas가 분출되어 나오고 Showerhead와의 거리는 A, Showerhead 면적이 100mm x 50mm 일때 Showerhead를 통과하는 기체의 Density를 구할 수 있을까요??

 

정확하지 않더라도 간단하게 유추정도만 해볼 수 있는 식이 있다면 지도 부탁드립니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76739
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20207
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68703
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92292
142 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 726
141 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 737
140 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 755
139 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 755
138 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 844
137 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 868
136 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 881
135 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 890
134 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 981
133 Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] 1013
132 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 1058
131 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 1059
130 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 1072
129 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 1087
128 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 1104
127 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 1113
126 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 1121
125 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1141
124 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1157
» Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 1169
쓰기
태그

Boards

XE Login