번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [62] 1520
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 2347
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49510
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59719
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 75661
118 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 521
117 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 533
116 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 550
115 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 551
114 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 582
113 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 596
112 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 629
111 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 669
110 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 686
109 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 691
108 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 716
107 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 778
106 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 780
105 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 798
104 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 827
103 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 830
102 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 832
101 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 834
100 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 916
99 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 1047

Boards


XE Login