번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] 2566
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 13679
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49691
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61640
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 80272
124 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 461
123 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 477
122 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 491
121 ICP 후 변색 질문 532
120 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 535
119 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 579
118 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 628
117 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 642
116 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 678
115 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 707
114 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 709
113 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 722
112 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 753
111 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 767
110 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 772
109 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 824
108 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 852
107 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 881
106 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 906
105 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 917

Boards


XE Login