번호 제목 조회 수
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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 27998
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 65271
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 77086
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 111387
174 Cu migration 방지를 위한 스터디 [전자재료] [1] 735
173 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메커니즘에 대해 질문하고 싶습니다. [플라즈마-화학-표면 반응 모델] [1] 743
172 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [Pd condition과 PDP] [1] 748
171 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [Materials processing] [1] 753
170 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [Ar, O2 플라즈마 생성 특성] [1] 754
169 Etch Plasma 관련 문의 건.. [RF 주파수와 플라즈마 주파수] [1] 779
168 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [대면 재료의 전기적 특성와 플라즈마 쉬스의 변화] [3] 809
167 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [핵융합 연구소] [1] 846
166 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 856
165 메틸기의 플라즈마 에칭반응 메커니즘 [공정 플라즈마] [1] 875
164 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [Sheath 전기장 및 instability] [1] file 946
163 III-V 반도체 에칭 공정 문의 [1] 946
162 ICP 후 변색 질문 950
161 Wafer 영역별 E/R 차이에 대한 질문 [Gas flow system vs E/R] [1] 957
160 PEALD장비에 관해서 질문드리고 싶습니다. [장비 세정 및 관리 규칙] [1] 962
159 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다. [플라즈마 소스 변경] [1] 993
158 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [Plasma torch와 cyanide] [2] 1003
157 기판표면 번개모양 불량발생 [Plasma charging] [1] 1050
156 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 1087
155 Dielectric Etcher(CCP)에서 사용하는 주파수 [Plasma frequency 및 RF sheath] [2] 1087

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