Ashing O2 Asher o-ring 문의드립니다. [Plasma heat와 dissociation]

2020.07.30 19:43

미누85 조회 수:1229

안녕하세요

재직중인 곳에서 O2 Asher 를 사용하고 있습니다.

약 3개월 마다 장비 유지보수 및 cleaning을 진행하고 있는데

그때마다 항상 O-ring이 갈라져 있고, 주변으로 흰색 가루(?) 같은 것들이 있습니다.

Ar를 사용하는 PVD 장비의 O-ring은 1년을 써도 멀쩡한데 O2 asher만 그러네요....

O-ring 재질은 바이톤 재질을 사용하고 있습니다.

O2 Asher에 적합한 O-ring이 무엇인지 알고 싶습니다.

그리고 발생된 흰가루나 갈라진 O-ring이 out gasing, particle을 유발하여 제품에 영향을 미칠까요?

작업 용도는 세라믹 기판에 코팅된 PR을 노광 및 현상 후 표면 Cleaning 용도로 쓰고 있습니다.

 

무더위 건강 유의하시고 좋은 하루 되시길 바랍니다.!!

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