Ashing O2 Asher o-ring 문의드립니다.

2020.07.30 19:43

미누85 조회 수:491

안녕하세요

재직중인 곳에서 O2 Asher 를 사용하고 있습니다.

약 3개월 마다 장비 유지보수 및 cleaning을 진행하고 있는데

그때마다 항상 O-ring이 갈라져 있고, 주변으로 흰색 가루(?) 같은 것들이 있습니다.

Ar를 사용하는 PVD 장비의 O-ring은 1년을 써도 멀쩡한데 O2 asher만 그러네요....

O-ring 재질은 바이톤 재질을 사용하고 있습니다.

O2 Asher에 적합한 O-ring이 무엇인지 알고 싶습니다.

그리고 발생된 흰가루나 갈라진 O-ring이 out gasing, particle을 유발하여 제품에 영향을 미칠까요?

작업 용도는 세라믹 기판에 코팅된 PR을 노광 및 현상 후 표면 Cleaning 용도로 쓰고 있습니다.


무더위 건강 유의하시고 좋은 하루 되시길 바랍니다.!!

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] 2564
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 13558
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49691
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61635
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 80260
124 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 461
123 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 476
» O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 491
121 ICP 후 변색 질문 532
120 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 534
119 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 579
118 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 625
117 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 641
116 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 677
115 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 707
114 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 709
113 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 722
112 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 750
111 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 766
110 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 771
109 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 822
108 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 852
107 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 880
106 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 906
105 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 917
쓰기
태그

Boards

XE Login