Ashing O2 Asher o-ring 문의드립니다.

2020.07.30 19:43

미누85 조회 수:604

안녕하세요

재직중인 곳에서 O2 Asher 를 사용하고 있습니다.

약 3개월 마다 장비 유지보수 및 cleaning을 진행하고 있는데

그때마다 항상 O-ring이 갈라져 있고, 주변으로 흰색 가루(?) 같은 것들이 있습니다.

Ar를 사용하는 PVD 장비의 O-ring은 1년을 써도 멀쩡한데 O2 asher만 그러네요....

O-ring 재질은 바이톤 재질을 사용하고 있습니다.

O2 Asher에 적합한 O-ring이 무엇인지 알고 싶습니다.

그리고 발생된 흰가루나 갈라진 O-ring이 out gasing, particle을 유발하여 제품에 영향을 미칠까요?

작업 용도는 세라믹 기판에 코팅된 PR을 노광 및 현상 후 표면 Cleaning 용도로 쓰고 있습니다.


무더위 건강 유의하시고 좋은 하루 되시길 바랍니다.!!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [127] 5572
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16855
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51343
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64186
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84148
132 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 506
131 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 509
130 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 528
129 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 540
128 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 569
127 ICP 후 변색 질문 585
» O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 604
125 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 605
124 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 638
123 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 645
122 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 665
121 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 695
120 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 763
119 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 802
118 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 803
117 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 854
116 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 864
115 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 875
114 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 875
113 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 880

Boards


XE Login