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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] 2566
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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49691
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61640
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104 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 939
103 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 939
102 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 975
101 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 977
100 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 1069
99 Ar plasma power/time [1] 1146
98 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1154
97 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1179
96 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 1239
95 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1328
94 etching에 관한 질문입니다. [1] 1345
93 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 1398
92 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1411
91 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 1416
90 터보펌프 에러관련 [1] 1423
89 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 1453
88 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 1696
87 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 1845
86 Plasma etcher particle 원인 [1] 1911
85 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 1960

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