번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [62] 1560
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 2431
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49520
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59728
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 75773
98 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1066
97 Ar plasma power/time [1] 1084
96 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1113
95 etching에 관한 질문입니다. [1] 1116
94 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 1134
93 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 1204
92 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 1218
91 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1223
90 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 1343
89 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1368
88 터보펌프 에러관련 [1] 1378
87 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 1564
86 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 1636
85 Plasma etcher particle 원인 [1] 1722
84 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 1799
83 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 1809
82 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 1938
81 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] 2014
80 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2121
79 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 2252

Boards


XE Login