Others Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다.

2020.06.08 18:29

튠업 조회 수:1005

안녕하십니까 교수님


공정 실습 중 Dechucking 이슈에 대해 궁금증이 있어 이렇게 글을 남깁니다.

제가 확인한 이슈는 dechucking 이후 핀업 진행 시 웨이퍼가 슬라이딩 하는 문제였는데, 해당 이슈에 대해 config값을 (0->5)변경하여 He flow가 되도록 조치했다는 것을 알았습니다.

chucking 과정중 He의 역할이 온도를 낮추는 역할 정도로 알고 있는데, He 가스가 chucking에서 어떤 역할들을 하는지 궁금합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [233] 75735
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19419
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56648
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67966
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90148
134 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 794
133 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 810
132 Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] 844
131 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 886
130 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 934
129 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 968
128 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 970
127 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 983
126 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 1005
» Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 1005
124 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 1042
123 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1071
122 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 1076
121 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1094
120 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 1094
119 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1110
118 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 1154
117 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1221
116 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 1250
115 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 1257
쓰기
태그

Boards

XE Login