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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 75382
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74 플라즈마 색 관찰 [플라즈마 빛과 OES신호] [1] 5048
73 플라즈마 식각 공정 중 폴리머의 거동 [재료 표면 반응] [1] 5081
72 DRAM과 NAND 에칭 공정의 차이 ["플라즈마 식각 기술"] [1] 6010
71 SiO2 식각 위한 Remote Plasma Source관련 질문 드립니다. [반응성 기체 생성] [1] 6377
70 모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의 6563
69 안녕하세요, 질문드립니다. [플라즈마 토치와 환경처리] [2] 6810
68 플라즈마 데미지에 관하여.. [Charge의 축적과 damage] [1] 6810
67 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 7017
66 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [물리적/화학적 세정] [4] 7108
65 SiO2를 Etching 할 시 NF3 단독 보다 O2를 1:1로 섞을시 Etching이 잘되는 이유 [ER과 energy transport] [1] file 7152
64 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [RRC 연구센터 문의] [1] 7996
63 고온 플라즈마 관련 8190
62 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [플라즈마 밀도와 중성 가스의 균일도] [1] 8410
61 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [Bias power] [1] 8539
60 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [Depo radical 형성 및 sputtering] [1] 9110
59 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 9381
58 에칭후 particle에서 발생하는 현상 9915
57 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [플라즈마트 및 휘팅커 회사] [1] 10816
56 N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [쉬스 전위 및 플라즈마 세정] [1] 12577
55 ICP와 CCP의 차이 [Self bias와 Maxwellian distribution] [3] 13238

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