경험이 없어 원론적인 답변을 드립니다.

플라즈마 분위기를 이용하는 세정 방법은 플라즈마 생성 시 만들어지는 UV, 이온(물리적 에너지), 라디컬(화학반응) 을 복합적으로 이용할 수 있다는 장점을 이용합니다. 플라즈마 발생은 해리/여기 반응을 동반하므로, 플라즈마 상태에서는 앞의 반응 원천인자가 제공되고 있다고 할 수 있습니다. 여기에 가스를 혼합하는 경우는 화학적 반응물을 추가로 생성하기 위함일 수 있겠고, 이온의 에너지를 높이기 위해서는 시료를 DC 혹은 RF - self bias를 이용하기도 합니다.  아마도 소스를 바꾼다는 의미가 이들 조합의 차이를 유발하는 플라즈마 가열 방법의 차이를 의미합니다. 따라서 일반적인 접근 방법은 현재 플라즈마에서 산소 등의 세정 능력이 큰 가스, 라디컬 생성 가스를 이용하는 방법이 되겠고, 아르곤가스를 통합하면 방전이 보다 수월하고 화학적 성질의 변화가 적어 이 조합으로 시작하시면 될 것 같습니다.