번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
22 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 423
21 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 399
20 PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] 391
19 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 381
18 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 381
17 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 353
16 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 353
15 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 312
14 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 287
13 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 262
12 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 238
11 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 222
10 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 209
9 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 191
8 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 190
7 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 186
6 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 184
5 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 154
4 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 113
3 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 82

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