번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [131] 5628
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16931
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51356
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64230
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84403
53 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1261
52 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1247
51 Ar plasma power/time [1] 1225
50 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 1217
49 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 1183
48 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1165
47 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1123
46 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1105
45 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1101
44 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1022
43 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1020
42 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 995
41 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 975
40 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 901
39 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 898
38 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 883
37 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 881
36 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 856
35 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 827
34 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 819

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