Deposition PEALD관련 질문 [Passivation 막 증착 과정]

2019.06.21 13:12

베컴 조회 수:32737

안녕하십니까?

 

현재 에쳐장비 현업에 종사하고 있는데...

PEALD관련논문을 서치중에 있습니다.

PEALD관련 혹시 추천해주실 논문이나 자료가 있다면, 부탁드리겠습니다.

감사합니다.

수고하십시오.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] 79217
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21256
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58056
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69611
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94396
193 플라즈마내에서의 아킹 [Charge와 plasma potential] 43793
192 ECR plasma 장비관련 질문입니다. [ECR과 enhanced process] [2] 35070
» PEALD관련 질문 [Passivation 막 증착 과정] [1] 32737
190 RF에 대하여... 32308
189 RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. 31764
188 DC Bias Vs Self bias [전자 에너지 분포] [5] 31744
187 [Sputter Forward,Reflect Power] [Sputter와 matching] [1] 31318
186 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다. file 30265
185 PECVD에서 플라즈마 demage가 발생 조건 [쉬스와 플라즈마 밀도에 의한 damage] 29904
184 OLED에서 SF6와 CF4를 사용하는 이유를 알고 싶습니다. [Etching] [1] 29208
183 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. 24992
182 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점… [폭발과 pressure] [1] 24820
181 Dechucking 시 wafer 상의 전하 문제 24291
180 Arcing [아크의 종류와 발생 원인] 24001
179 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [Cooling과 Etch rate] [2] 23899
178 Dry Etch장비에서 Vdc와 Etch rate관계 [플라즈마 및 반응기 임피던스] [1] 22939
177 Dry Etcher 에 대한 교재 [플라즈마 식각 기술] [1] 22628
176 질문있습니다 교수님 [Deposition] [1] 22497
175 플라즈마 코팅 관하여 [PECVD와 화학물 코팅] 22155
174 펄스바이어스 스퍼터링 답변 22012
쓰기
태그

Boards

XE Login