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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73500
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14 Sputtering을 이용한 film deposition [진공 및 오염입자의 최소화] [1] 538
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12 가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [Arrhenius equation 이해] [1] 485
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8 HF PLASMA DEPOSITION 시 POWER에 따른 DEP RATE 변화 [장비 플라즈마, Rate constant] [1] 452
7 AP plasma 공정 관련 문의 [OES 활용 장비 플라즈마 데이터 분석] [1] 435
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3 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 370
2 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 344
1 플라즈마 식각 커스핑 식각량 226

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