Process 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다
2020.09.05 00:10
안녕하세요
저는 직장인입니다
회사에서 OLED쪽 CVD 장비유지보수 업무를 하고있습니다
그동안 플라즈마 연구실에서 궁금한거 눈팅만 하다가 이번에는 없어서 직접 질문드립니다
보안에 위배될까봐 자세히는 적지 못 합니다 이해 부탁드립니다.
증착 중 부속 장비의 알람 발생으로 증착 중 RF Power 및 가스 Flow가 중단되어 증착이 중단됩니다
Alarm 발생 Glass를 살리기 위해 Glass 제전(전극과 Glass 간격을 벌려줌) 후 추가증착을 진행(추가증착시 전극에 Glass 안착 후)하는데
이 추가증착 진행 Glass에서 흰얼룩(뿌연얼룩/방사형얼룩)이 발생됩니다
이것을 해결 하기 위한 방법이 있을까요?
댓글 2
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76858 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20263 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57197 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68749 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92623 |
143 | 교육 기관 문의 | 17783 |
142 | 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [1] | 17523 |
141 | [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. | 17195 |
140 | 플라즈마 처리 | 16934 |
139 | ICP 식각에 대하여... | 16923 |
138 | sputter | 16850 |
137 | nodule의 형성원인 | 16764 |
136 | 몇가지 질문있습니다 | 16578 |
135 | Sputter | 15887 |
134 | Ar fraction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [1] | 15807 |
133 | PMMA(폴리메틸메타크릴레이트)의 표면개질에 관해 [1] | 15647 |
132 | 박막 형성 | 15300 |
131 | 산업용 플라즈마 내에서 particle의 형성 | 15053 |
130 | 플라즈마 절단기에서 발생 플라즈마 | 14736 |
129 | ICP와 CCP의 차이 [3] | 12516 |
128 | N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] | 11469 |
127 | 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] | 10316 |
126 | 에칭후 particle에서 발생하는 현상 | 9526 |
125 | 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 | 9265 |
124 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8616 |