Others Full Face Erosion 관련 질문
2008.12.16 08:24
안녕하세요.
Full face erosion 관련 자료를 찾던 중 이곳까지 오게되었습니다. 인터넷검색으로는 자료를 찾을수가 없어서
이렇게 글을 올립니다.
high deposition rate가능, long time process가능, 간단한 process control
등의 장점은 대충 알고 있으나, 어떠한 구조인지, 어떠한 원리로 위의 장점들이 가능한지,
단점은 무엇인지, 기존 sputter와 차이점 등등 FFE에 대한 자세한 내용을 알고싶습니다.
답변해 주시면 정말 많은 도움이 될 것같습니다.
자료를 올려주셔도 괜찮습니다 ^^;;;
사회초년생으로서 배울것이 너무 많은것 같네요.
염치없지만 부탁드립니다 ㅠ.ㅠ
댓글 2
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [309] | 78473 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 21040 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57867 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 69400 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93945 |
172 | 스퍼터링시 시편 두께와 박막두께 [박막의 하전량 변화] [1] | 21744 |
171 | UBM 스퍼터링 장비로… [UBM과 열팽창 및 coating] [1] | 20955 |
170 | plasma cleanning에 관하여 [Sputtering과 Etch] | 20886 |
169 | wafer 전하 소거: 경험 있습니다. | 20515 |
168 | RIE장비 에서 WALL 과 TOP 온도 | 20469 |
167 | Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. | 20315 |
166 | DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 [플라즈마 부유 전위] | 19746 |
165 | DC SPT 문의 [절연체의 전위] | 19711 |
164 | 플라즈마를 이용한 폐기물 처리 [코로나 방전, 먼지 집진] | 19668 |
163 | 플라즈마를 이용한 박막처리 | 19553 |
162 | H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] | 19507 |
» | Full Face Erosion 관련 질문 [2] | 19497 |
160 | 플라즈마의 환경이용 | 18798 |
159 | 물리적인 sputterting | 18412 |
158 | sputtering | 18335 |
157 | 증착에 대하여... | 18139 |
156 | Splash 발생 및 감소 방안은 없는지요? [Splash와 TG Maker] | 18086 |
155 | Plasma of Bio-Medical Application | 18025 |
154 | 플라즈마 응용분야 | 17904 |
153 | 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [공정 용법] [1] | 17896 |