번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [54] 1184
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 911
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49372
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59448
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 74043
55 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] 1817
54 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 1796
53 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 1772
52 Plasma etcher particle 원인 [1] 1679
51 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 1529
50 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 1484
49 터보펌프 에러관련 [1] 1368
48 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1354
47 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 1320
46 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1194
45 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 1149
44 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1105
43 Ar plasma power/time [1] 1075
42 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 1063
41 etching에 관한 질문입니다. [1] 1051
40 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1046
39 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 997
38 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 943
37 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 894
36 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 829

Boards


XE Login