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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요?
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HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의
[1] | 2228 |
62 |
ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다.
[2] | 2152 |
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산소양이온의 금속 전극 충돌 현상
[1] | 2077 |
60 |
RIE에 관한 질문이 있습니다.
[1] | 1970 |
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Plasma etcher particle 원인
[1] | 1922 |
58 |
sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지
[1] | 1857 |
57 |
Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련.
[1] | 1714 |
56 |
플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다.
[1] | 1476 |
55 |
터보펌프 에러관련
[1] | 1432 |
54 |
Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다.
[1] | 1431 |
53 |
PECVD Precursor 별 Arcing 원인
[1] | 1427 |
52 |
RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다.
[1] | 1423 |
51 |
etching에 관한 질문입니다.
[1] | 1359 |
50 |
식각 시 나타나는 micro-trench 문제
[1] | 1336 |
49 |
DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다.
[1] | 1259 |
48 |
poly식각을 위한 조언 부탁드립니다.
| 1189 |
47 |
wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상
[1] | 1169 |
46 |
Ar plasma power/time
[1] | 1157 |
45 |
Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate
[1] | 1082 |