Etch 터보펌프 에러관련

2019.03.18 20:52

베컴 조회 수:1541

안녕하십니까?

진공관련 터보펌브 관련 질문을 드리려 합니다.

고진공 펌프인 터보펌프에 대기압 상태의 가스입자 즉 아보가드로 넘버 숫자의 입자가 주입이 될 경우

터보펌프에 어떤 무리가 오게 되는지 궁금합니다.

제가 예상하건데...터보펌프 블레이드가 녹아버리거나, 추즉합니다.


터보펌프에 에러가 발생을 해서요...따로 인터락은 작동하지 않은것으로 파악됩니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5835
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17290
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53125
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64510
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85125
74 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 2751
73 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2542
72 PR wafer seasoning [1] 2486
71 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2453
70 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2451
69 Plasma etcher particle 원인 [1] 2245
68 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2245
67 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2193
66 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 2007
65 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 1985
64 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 1967
63 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 1947
62 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 1681
61 etching에 관한 질문입니다. [1] 1673
60 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 1591
» 터보펌프 에러관련 [1] 1541
58 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 1537
57 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1514
56 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1502
55 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 1374

Boards


XE Login