안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113] 4940
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16311
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51253
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63772
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83583
27 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 606
26 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 586
25 ICP 후 변색 질문 576
24 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 561
23 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 558
22 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 531
21 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 495
20 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 484
19 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 461
18 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 450
17 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 447
16 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 437
15 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 434
14 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 433
13 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 424
12 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 423
11 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 418
10 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 415
9 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 362
8 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 355

Boards


XE Login