번호 제목 조회 수
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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20846
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57737
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69253
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93631
74 가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [Arrhenius equation 이해] [1] 58
73 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 45
72 Debey Length에 대해 문의 드립니다. [플라즈마 정의와 Deybe length] [1] 84
71 플라즈마 식각 공정 중 폴리머의 거동 [재료 표면 반응] [1] 2324
70 Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [Sheath 크기 및 전위 분포] [1] 137
69 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [Sheath uniformity 이해] [1] 148
68 플라즈마 식각 커스핑 식각량 77
67 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [Ar, O2 플라즈마 생성 특성] [1] 276
66 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [부착물의 흡착 관리] [1] 106
65 Etch Plasma 관련 문의 건.. [RF 주파수와 플라즈마 주파수] [1] 329
64 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 462
63 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 940
62 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 370
61 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 337
60 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 766
59 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 279
58 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 445
57 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 711
56 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 340
55 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 408
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